台式溅射机/碳涂层机(Desk Sputter/Carbon Coater-DSCR)

台式溅射机/碳涂层机 (DSCR)

Desk SEM Coater(台式溅射机/碳涂层机), DSCR型是一种紧凑的镀膜系统,包括溅射镀膜机和碳镀膜机。 该系统能够在非导电或导电不良的样品上溅射诸如金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的贵金属,并能够在碳纤维上涂覆碳膜 样品。

该设备是一种旋转泵式涂布机,配置用于在一台仪器中具有可互换头的DC溅射和碳纤维涂布(螺纹)。 台式溅射机/碳涂层机(DSCR)是用于扫描电子显微镜样品制备的多功能机器。

为了通过扫描电子显微镜观察不导电或导电不良的样品,在SEM显微镜检查之前的样品制备步骤中应提高其表面电导率。

溅射沉积和碳蒸发是电子显微镜样品制备的标准机制。 全自动选项使初学者也可以轻松使用系统。 具有图形部分的用户友好软件简化了沉积信息的感知。

特点(台式溅射机/碳涂层机)

  • 易于操作
  • 直观的触摸屏可控制涂布过程和快速的数据输入
  • 易于使用的软件,可进行全自动和半自动控制
  • 易于装卸样品
  • 可重复的膜厚沉积
  • 精确的可复制涂料
  • 高分辨率精细涂层(2nm金晶粒量级)
  • 低压溅射
  • 无需冷却系统
  • 闪光和脉冲模式下的碳涂层
  • 双碳纤维可沉积较厚的层
  • 两年保修
  • CE符合性

应用

DSCR台式溅射镀膜机是一种扫描电子显微镜(SEM)样品制备系统,配有旋转泵,可实现小于50 mTorr的真空度,这是适用于贵金属溅射镀膜和碳纤维蒸发镀膜的真空范围。 对于氧化性金属的溅射沉积,场发射SEM(FE-SEM),SEM EDX和TEM应用,请参见DST1,DSCT和DCT。

碳涂层头

台式溅射机/碳涂层机,该设备配备了可互换的喷头,用于碳涂层。 能够装载两条直径为0.8毫米的碳纤维,可以根据需要涂覆更厚的碳膜。

触摸彩色显示屏控制

DSCR(台式SEM涂布机)配备了7英寸彩色触摸屏以及全自动控制和数据输入,即使没有经验的用户也可以操作。真空,电流和沉积信息可以通过触摸屏上的数字数据或曲线来观察。 屏幕。 最近300次涂层的信息也可以保存在历史记录页面中。

样品台

DSCR(台式溅射机/碳涂层机)可以根据用户要求配备不同的样品台配置。 样品台可旋转,高度可调,可以轻松更换。 旋转式行星样品台是均匀涂覆多孔样品的理想选择。

vac product DSR1 holder
vac product DSR1 planetary

规格

  • 两级直驱4m3 / h旋片泵
  • 170mm外径x 140 mm Pyrex气缸室
  • 尺寸:45厘米高x 50厘米宽x 37厘米深
  • 2英寸磁控管阴极
  • 最高真空度:小于50毫托
  • 行星样本轮换
  • 热电偶真空计
  • 石英晶体厚度监测仪,精度为1nm
  • 电控百叶窗
  • 自动排气阀
  • 保存最后进行的300道涂层
  • 实用程序:220V-240V,50 / 60HZ-10A
  • 80瓦DC开关电源
  • 通过USB端口将曲线和溅射工艺数据传输到PC
  • 运输重量:42Kg

选件和配件(台式溅射机/碳涂层机)

台式溅射镀膜机具有以下可选配件:

  • 碳棒蒸发头
  • 碳棒的大电流电源
  • 石英晶体传感器
  • 行星样品旋转
  • 备用玻璃真空室
  • 溅射靶
  • 碳纤维
  • 密封垫片