台式溅射镀膜机(Desk Sputter Coater-DSR1)

台式溅射镀膜机(DSR1)

DSR1 (台式溅射镀膜机)型Desk SEM涂布机是一种紧凑的涂布系统,能够在非导电或导电不良的金属上涂布(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)薄膜 标本。 在快速的循环时间内形成具有细粒度的均匀薄膜。 产生的薄膜适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。

台式磁控溅射镀膜机(DSR1)是一种高生产率的工具,可在全自动系统中提供一致且高度可重复的结果。

DSR1 SEM涂层系统的人体工程学设计和较小的占地面积使系统易于使用。

特征(台式溅射镀膜机)

  • 两级直驱4m3 / h旋片泵
  • 高精度石英晶体厚度监测仪
  • 直观的触摸屏可控制涂布过程和快速的数据输入
  • 可通过网络更新的用户友好软件
  • 控制镀膜速率以获得更细的晶粒结构
  • 手动或自动定时和厚度溅射
  • 易于更改的样品台(行星旋转或标准旋转台)
  • 两年保修
  • CE符合性
台式分切机(Desk Sputter Coater)

应用

DSR1(台式溅射镀膜机)是配有旋转泵的扫描电子显微镜(SEM)样品制备系统,真空度小于50 mTorr,这是用于贵金属溅射镀膜的合适真空度。

*注意

有关氧化性金属的溅射,请参见DST1(涡轮泵台式溅射镀膜机)

触摸屏控制,彩色显示

台式溅射镀膜机DSR1配备7英寸彩色触摸屏以及全自动控制和数据输入功能,即使没有经验的用户也可以操作。 真空,电流和沉积信息可以在触摸屏上观察为数字数据或曲线。 最近300次涂层的信息也可以保存在历史记录页面中。

vac product DSR1 touch
vac product DSR1 monitor

样品架(DSR1)

DSR1(台式溅射镀膜机)可以根据用户要求配备不同的样品台配置。 标准样品台可旋转,高度,角度可调,并且可以轻松更换。

旋转式行星样品台是均匀涂覆多孔样品的理想选择。

vac product DSR1 planetary
vac product DSR1 holder

规格(台式溅射镀膜机)

  • 170mm外径x 140 mm Pyrex气缸室
  • 尺寸:高45厘米x宽50厘米x深37厘米
  • 运输重量(包括真空泵):42Kg
  • 实用程序:220V-240V,50 / 60HZ-10A
  • 80瓦DC开关电源
  • 高精度测厚仪
  • 最高真空度:小于40 mTorr
  • 2英寸磁控管阴极
  • 电子快门
  • 电子泄漏阀
  • 通过USB端口将曲线和溅射工艺数据传输到PC

选件和配件(DSR1)

  • 石英晶体传感器
  • 行星样本轮换
  • 备用玻璃室
  • 溅射靶
  • 密封垫片

DSR1 视频

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