桌面热蒸发器(Desk Thermal Evaporator-DTT)

三源台式热蒸发器(DTT)

DTT(桌面热蒸发器)是台式,涡轮分子泵式热蒸发器,用于薄膜的真空沉积。 具有蒸发源(船/篮/盘管)选择系统的三源蒸发非常适合多层或合金的沉积。

这种真空蒸发系统具有合适的尺寸,能够在短时间内达到所需的压力,并且可以在几分钟内完成涂覆过程。 它适用于研究,实验室和电子显微镜应用。

特征(桌面热蒸发器)

  • 多层导热涂料
  • 大幅面室
  • 高真空涡轮泵
抽速 90 l/s 350 l/s
极限压力 2 x10-5  托 5 x10-6  托
  • 两级旋转叶片背衬泵,4 m3 / h
  • 全量程真空计
  • 选择蒸发源(船/篮/盘管)进行多层薄膜沉积
  • Co–蒸发以形成合金膜(可选)
  • 石英晶体监测系统,用于实时厚度测量(1 nm精度)
  • 手动或自动定时或厚度沉积
  • 直观的触摸屏可控制涂布过程和快速的数据输入
  • 可通过网络更新的用户友好软件
  • 配备电子快门
  • 配备旋转样品架(可选)
  • 2英寸,500°C的基板加热器(可选)
  • 两年保修
vac product DTT inside

应用

  • 金属和介电膜
  • 薄膜传感器的制造
  • 光学元件
  • 纳米与微电子
  • 太阳能电池

彩色显示触摸屏控制

DTT是台式真空热蒸发器,配备7英寸彩色触摸屏,具有全自动控制和数据输入功能,即使没有经验的用户也可以操作。 真空和沉积信息可以在触摸屏上观察为数字数据或曲线。 最近300种涂料的信息也可以保存在历史记录页面中。

vac product DTT monitor
vac product DTT touch
vac product DTT internal sec
vac product DTT internal

热蒸发源(船/篮/盘管)

DTT(桌面热蒸发器)台式真空热镀膜机可配备三个独立的耐热热蒸发源。 蒸发源支架的良好设计不会导致源材料相互污染。 源支架的长度可以在5cm〜9cm的范围内调节。

清洁真空

真空室是耐热的圆柱形Pyrex,外径为300毫米,高度为200毫米.DTT装有内部安装的90 L / s涡轮分子泵,由两级旋转泵支持,可引入干净的真空而无油污, 普通扩散泵通常带有

技术指标

  • 多艇,篮子和线圈的安装
  • 记录并绘制涂层参数图
  • 通过USB端口将曲线和沉积过程数据传输到PC
  • 独立于压力自动控制涂层功率
  • 高电流馈通
  • 0-100大电流,具有短路保护,直流电源
  • 实用程序:220V-240 V-50/60 HZ-16A
  • 尺寸:60 Cm H×65 Cm W×50 Cm D
  • 运输重量:〜60公斤

选件和配件

DTT具有以下流动选项和附件:

  • 用于共蒸发的大电流电源
    石英晶体传感器
  • 备用玻璃室
  • 蒸发源(船/篮/盘管)
  • 2英寸,500°C的基板加热器
  • 样品旋转
  • MFC
  • 密封垫片

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