高真空单磁控靶台式溅射镀膜机(Desk Sputter Coater – DST1-170)

DST1-170型磁控溅射镀膜机是一种紧凑的镀膜系统,能够镀覆金属(氧化性和非氧化性)。 在快速的循环时间内形成具有细粒度的均匀薄膜。 DST1-170配备了直径2英寸的磁控阴极。

DST1-170配置为适用于扫描电子显微镜(SEM)样品制备的溅射镀膜机。 这款高真空镀膜机可提供具有细晶粒尺寸的高质量均匀薄膜,适用于需要高分辨率和高质量表征的样品,例如FE-SEM,EDS / WDS,TEM和EBSD。 具有2英寸磁控管阴极,80 W开关DC电源的DST1-170可用于研究和各种薄膜应用。

特点

  • 高真空涡轮泵90 l / s(Leybold)
  • 两级旋转叶片真空泵作为辅助泵
  • 全量程真空计(Leybold)
  • ISO-KF63蝶阀
  • 直流电源80 W
  • 高精度石英晶体厚度监测仪
  • 直观的触摸屏可控制涂布过程和快速的数据输入
  • 可通过网络更新的用户友好软件
  • 控制镀膜速率以获得更细的晶粒结构
  • 手动或自动定时和厚度溅射
  • 能够记录和绘制涂层参数图
  • 配备电子快门
  • 易于更换的样品台(标准旋转台)
  • 两年保固
vac product DST1-170